ガス供給装置及びガス置換方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木戸一彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199571
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027400
特許番号：特許第3574965号
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数のガスを切換供給するためのガス供給装置において、ガス供給経路又は該ガス供給経路に接続したガス排気経路に、背圧制御器及び流量制御器を設けるとともに、該背圧制御器及び流量制御器を作動させる制御手段を設け、該制御手段は、前記背圧制御器を作動させてガス供給経路内の圧力を構成部品の圧力制限範囲内で変動させる圧力変動操作を行い、続いて、前記流量制御器を作動させてガス供給経路のガスの流量を構成部品の流量制限以下で増加させる流量増加操作を行わせることを特徴とするガス供給装置。

IPC (1件)：