特許
J-GLOBAL ID：201103015179802989

研磨工具、研磨装置および研磨加工方法

発明者：
高田 暢行

高田 暢行 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-181892
公開番号（公開出願番号）：特開2011-031359
出願日： 2009年08月04日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：
【課題】装置の大型化を伴わずに異なる種類の研磨加工を実現可能な研磨工具、研磨装置および研磨加工方法を提供すること。【解決手段】研磨工具43の研磨面は、第1の研磨パッド45によって形成され、ワークの被研磨面の外形以上の大きさを有する中央研磨面と、第2の研磨パッド46によって形成され、中央研磨面の外周を囲繞する外周研磨面とで構成される。そして、中央研磨面と外周研磨面とが段差を形成して外周研磨面が中央研磨面から突出しており、研磨工具43は、全体として内側が窪んだ断面視凹型形状を有する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
研磨面を有し、該研磨面によって研磨対象のワークの被研磨面を研磨加工する研磨工具であって、 前記研磨面は、前記ワークの被研磨面の外形以上の大きさを有する中央研磨面と、該中央研磨面の外周を囲繞する外周研磨面とで構成され、前記中央研磨面と前記外周研磨面とが段差を形成して前記外周研磨面が前記中央研磨面から突出していることを特徴とする研磨工具。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (5件)：
B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F ,  H01L21/304 622Q ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/304 644A
Fターム (27件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA18 ,  3C058CA05 ,  3C058CB07 ,  3C058DA17 ,  5F157AA12 ,  5F157AA23 ,  5F157AA28 ,  5F157AA70 ,  5F157AA73 ,  5F157AA96 ,  5F157AB02 ,  5F157AB16 ,  5F157AB33 ,  5F157AB90 ,  5F157BA01 ,  5F157BA08 ,  5F157BA31 ,  5F157BB23 ,  5F157BB37 ,  5F157BB42 ,  5F157BC35 ,  5F157CE25 ,  5F157DA21 ,  5F157DB38 ,  5F157DC51
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開平3-104567
  • 特開平3-104567
  • 特開昭58-149176
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