特許

J-GLOBAL ID：201103015530259766

クリーンボックス内ウエハ固定装置

発明者： 岡部 勉 ,  宮嶋 俊彦 ,  五十嵐 宏
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外12名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204383
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035911
特許番号：特許第3461144号
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 蓋と本体が結合して空間が形成されるクリーンボックスの該空間内に収納される略円形の平板を固定する装置において、該平板を押さえるための押さえ手段を有して該本体に軸支される棒と、カムと従動節からなる案内手段とを備え、該棒は該棒軸周りに回転可能である一方棒軸方向には移動不能であって、該カムは該蓋または該棒の一方に設けられ、該従動節は該蓋または該棒の他方に設けられ、該蓋が該本体を閉じる際に該カムと該従動節とが協働して該棒が回転することにより該押さえ手段が該平板を押さえることを特徴とする固定装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 25/10 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 25/10 ,  B65D 85/38 R