化学増幅型ポジ型レジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中山亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-066312
公開番号（公開出願番号）：特開2002-268222
特許番号：特許第4517524号
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下記の(I)、(II)及び(III)で示される重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶であるが酸の作用でアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。 (式中、R1、R2、R3は、互いに独立に水素又はメチルを表し、nは1〜3の数を表す。R3が複数の場合は、互いに同一でも異なってもよい。) (III)酸の作用により一部の基が開裂してアルカリ可溶となる重合単位

IPC (7件)：

G03F 7/039 ( 200 6.01) , C08F 220/18 ( 200 6.01) , C08F 220/28 ( 200 6.01) , C08F 220/42 ( 200 6.01) , C08L 33/04 ( 200 6.01) , C08L 33/18 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (7件)：

G03F 7/039 601 , C08F 220/18 , C08F 220/28 , C08F 220/42 , C08L 33/04 , C08L 33/18 , H01L 21/30 502 R

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