特許

J-GLOBAL ID：201103015651392196

プローブカード

発明者： 平井 幸廣 ,  杉山 正 ,  丹代 孝彦 ,  山口 憲栄 ,  成田 聡
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-100411
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292441
特許番号：特許第4060984号
出願日： 1999年04月07日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 互いに交差する2つの仮想的な境界線に沿って伸びる複数のスロットをほぼ格子状に有する絶縁板と、前記スロットを貫通した状態に前記絶縁板にほぼ格子状に配置されされた複数のプローブであって前記絶縁板に接着された複数のプローブとを含み、 各スロットを貫通するプローブは、針先が前記境界線に対して一方側に位置する複数のプローブを含む第1のプローブ群と、針先が前記境界線に対して他方側に位置する複数のプローブを含む第2のプローブ群とに分けられており、 前記境界線の交差部の周りの4対の第1及び第2のプローブ群は、少なくとも前記交差部の近傍に位置する複数のプローブの針先側部分を前記絶縁板への接着位置に対し前記交差部の周りの方向における同じ方向に延在させている、プローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B