特許

J-GLOBAL ID：201103015810071398

ボート搬送方法及び熱処理装置

発明者： 山賀 健一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-022006
公開番号（公開出願番号）：特開平2-028317
特許番号：特許第2639723号
出願日： 1989年01月31日
公開日（公表日）： 1990年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数段の熱処理炉の各ボート受渡し位置へ、被処理体が配列支持されたボートを共通のエレベータを用いて搬送するボート搬送方法であって、エレベータによりボート受渡し位置に搬送されてきたボートを昇降機能を有するボート置台に載置し、その後このボート置台を下降させて、前記熱処理炉に前記ボートを搬入させる搬入手段へ前記ボートを受渡すことを特徴とするボート搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/22 501 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L 21/22 501 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 E