リニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-216377
公開番号（公開出願番号）：特開2011-064608
出願日： 2009年09月18日
公開日（公表日）： 2011年03月31日
要約：

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた絶対位置の検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。【解決手段】エンコーダ100は、光学メイン格子Lが形成された帯状の2以上のトラックTを測定軸方向Xが長手となるように有するメインスケール110と、メイン格子Lと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール110に対向して測定軸方向Xで相対移動可能に配置され、光学的な2以上のインデックス格子G1,G2が形成されたインデックススケール120と、を備え、少なくとも1のトラックTのメイン格子Lに含まれる複数のスリットSLは、そのピッチpLが1以上の他のトラックTにおけるスリットSLのピッチPLと等しくなるように、測定軸方向Xに垂直な方向Yから所定の傾斜角度θA,θBで傾斜して形成される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

光学的なメイン格子がそれぞれ形成された帯状の2以上のトラックを測定軸方向が長手となるように有するメインスケールと、前記メイン格子と回折干渉光学系を構成するように前記メインスケールに対向し、かつ前記メインスケールと前記測定軸方向で相対移動可能に配置され、光学的な2以上のインデックス格子が形成されたインデックススケールと、を備え、少なくとも1の前記トラックのメイン格子に含まれる複数のスリットは、該トラックにおけるスリットのピッチが1以上の他の前記トラックにおけるスリットのピッチと等しくなるように、前記測定軸方向に垂直な方向から所定の傾斜角度で傾斜して形成されることを特徴とする、リニアエンコーダ。

IPC (3件)：

G01D 5/38 , G01D 5/347 , H02K 41/03

FI (3件)：

G01D5/38 A , G01D5/34 D , H02K41/03 A

Fターム (26件)：

2F103BA32 , 2F103BA37 , 2F103BA41 , 2F103CA01 , 2F103CA03 , 2F103CA04 , 2F103CA08 , 2F103DA07 , 2F103DA08 , 2F103DA11 , 2F103DA12 , 2F103DA13 , 2F103EA03 , 2F103EA04 , 2F103EA17 , 2F103EB02 , 2F103EB04 , 2F103EB16 , 2F103EB28 , 2F103EB32 , 5H641BB06 , 5H641GG02 , 5H641GG25 , 5H641GG26 , 5H641GG29 , 5H641JA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

光学式変位測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-031940 出願人：キヤノン株式会社

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