中空導波路とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-113339
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036112
特許番号：特許第3395120号
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】中空の金属導波路の内壁に、波長2μmから12μmの中赤外波長帯において透明な波長域を有するポリイミド樹脂層を内装したことを特徴とする中空導波路。

IPC (2件)：