特許
J-GLOBAL ID：201103016599345903
エッチング終点検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-257132
公開番号（公開出願番号）：特開平3-120386
特許番号：特許第2783863号
出願日： 1989年10月03日
公開日（公表日）： 1991年05月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】ドライエッチングにおける終点検出方法において、エッチングに主に関与する基底状態の原子或いは分子を該原子又は分子に対応する赤外レーザ光を発する光源と赤外光検出器とを用いて赤外光の減衰量をモニタリングし、エッチング終点の判定を行うことを特徴とするエッチング終点検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23F 4/00 F
, H01L 21/302 E
