特許

J-GLOBAL ID：201103016843039356

合わせずれ検査マーク

発明者： 佐 藤 隆 ,  高 桑 真 歩
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (6件)： 勝沼 宏仁 ,  佐藤 泰和 ,  川崎 康 ,  関根 毅 ,  赤岡 明 ,  箱崎 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-068172
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203325
出願日： 2010年03月24日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】観察可能な合わせずれ検査マークをデバイスパターンのデザインルールに従った微細なパターンから構成する。【解決手段】デバイスパターンのデザインルールに従った第1の長さの幅W1を有する第1のパターンP11を第1の間隔D1で第1の方向Xへ複数配置して構成される第1のパターングループPG11を第1のピッチPT1で前記第1の方向Xへ複数配置して構成された第2のパターングループPG24を備え、前記第1のピッチPTは、合わせずれ検査装置の分解能に適合した距離であることを特徴とする合わせずれ検査マークが提供される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

デバイスパターンのデザインルールに従った第1の長さの幅を有する第1のパターンを第1の間隔で第1の方向へ複数配置して構成される第1のパターングループを第1のピッチで前記第1の方向へ複数配置して構成された第2のパターングループを備え、 前記第1のピッチは、合わせずれ検査装置の分解能に適合した距離であることを特徴とする合わせずれ検査マーク。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  G03F 9/02

FI (5件)：

G03F1/08 N ,  H01L21/30 502V ,  H01L21/30 520C ,  H01L21/30 522 ,  G03F9/02 H

Fターム (9件)：

2H095BA01 ,  2H095BE01 ,  2H095BE03 ,  5F046EA04 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04 ,  5F146EA04 ,  5F146FC03 ,  5F146FC04