特許

J-GLOBAL ID：201103016919074903

シート状物の表面欠陥検査装置

発明者： 田中 茂
出願人/特許権者： 株式会社カネカ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-003823
公開番号（公開出願番号）：特開2011-145082
出願日： 2010年01月12日
公開日（公表日）： 2011年07月28日
要約：

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥でも漏れなく検出し、低コスト、かつ、省スペースで構成できる信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。【解決手段】走行する透明体のシート状物の幅方向から平行光を斜めに透過させて広範囲を照射する照明手段と、透過した光を光学的に圧縮させる配置で結像させるスクリーンと、該スクリーンに結像した画像を明暗信号として検出する撮像手段と、明暗信号のレベルをしきい値によって凹凸状欠陥として検知し、凹凸状欠陥の寸法及び形状を判定する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置により、上記課題を解決しえる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状の欠陥の検査において、 該シート状物の幅方向から平行光を斜めに透過させて広範囲を照射する照明手段と、 透過した光を光学的に圧縮させる配置で結像させるスクリーンと、 該スクリーンに結像した画像を明暗信号として検出する撮像手段と、 明暗信号のレベルをしきい値によって凹凸状欠陥として検知し、凹凸状欠陥の寸法及び形状を判定する信号処理手段と、 を具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/896

FI (1件)：

G01N21/896

Fターム (9件)：

2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01