特許
J-GLOBAL ID：201103017321789777
電子線分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
塩野入 章夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-162282
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346815
特許番号：特許第4081700号
出願日： 1999年06月09日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料に電子線を照射し、試料内の試料分析点から放出されるX線を検出して分析を行う電子線分析装置において、
試料の表面形状データから求めた試料分析点における法線方向を求める面方向算出手段と、
前記法線方向を基に試料分析点からX線検出器の方向に試料内を透過するX線の透過距離の差に基づく減衰の差を補償する補正データを算出する補正データ算出手段と、
前記補正データを用いて検出器出力を補正する補正手段とを備える、電子線分析装置。
IPC (4件)：
G01N 23/223 ( 200 6.01)
, G01N 23/225 ( 200 6.01)
, H01J 37/22 ( 200 6.01)
, H01J 37/252 ( 200 6.01)
G01N 23/223
, G01N 23/225
, H01J 37/22 502 H
, H01J 37/252 A
