レジスト用樹脂および化学増幅型レジスト組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198161
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022073
特許番号：特許第4146972号
出願日： 1999年07月12日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸によりアルカリ水溶液に可溶となるレジスト用樹脂であって、式(1)および(2)から選ばれる少なくとも1種の構造を有する(メタ)アクリレート系の単量体単位、脂環式骨格を有する単量体単位、およびラクトン骨格を有する単量体単位を含むレジスト用樹脂。 (Rは水素原子あるいはアルキル基、nは0から4の整数) (Rは水素原子あるいはアルキル基、nは0から4の整数)

IPC (3件)：