特許

J-GLOBAL ID：201103017693934587

バッチ式製造プロセスの監視方法及び監視装置

発明者： 野上 啓介 ,  井野 知巳 ,  加納 学
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  国立大学法人京都大学
代理人 (1件)： 日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-154389
公開番号（公開出願番号）：特開2011-008735
出願日： 2009年06月29日
公開日（公表日）： 2011年01月13日
要約：

【課題】製造条件の一時的な変動を監視することができ、良否判定精度が高いバッチ式製造プロセスの監視方法及び監視装置を提供する。【解決手段】監視装置1は、製品のバッチ式製造装置101から入力された時系列の装置ログデータをウェーブレット変換し、各周波数成分が正常であるか異常であるかを判定する。そして、正常と判定された周波数成分のウェーブレット係数の値を0とすると共に異常と判定された周波数成分のウェーブレット係数の値はそのままとした一組の採用ウェーブレット係数を生成する。次に、この一組の採用ウェーブレット係数を逆ウェーブレット変換して再生波形データを求め、この再生波形データを主成分分析してホッテリングT2と残差Qの2つの統計量を求め、この2つの統計量に上限閾値を設定し、その上限閾値を超えているかいないかによって、そのバッチ式製造プロセスが正常であるか異常であるかを判定する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

製品のバッチ式製造装置から入力された時系列の装置ログデータをバッチ毎にウェーブレット変換し、複数の周波数成分についてウェーブレット係数を求める工程と、 各前記周波数成分についてのウェーブレット係数及び前記各周波数成分についてそれぞれ取得された第1の負荷行列を用いて、前記各周波数成分について前記ウェーブレット係数のホッテリングT2統計量及び残差Q統計量を求め、前記ホッテリングT2統計量及び残差Q統計量に基づいて前記各周波数成分が正常であるか異常であるかを判定し、正常と判定された周波数成分のウェーブレット係数の値を0とすると共に異常と判定された周波数成分のウェーブレット係数の値はそのままとした一組の採用ウェーブレット係数を生成する工程と、 前記一組の採用ウェーブレット係数を逆ウェーブレット変換して再生波形データを求める工程と、 前記再生波形データ及び前記一組の採用ウェーブレット係数に対応する第2の負荷行列を用いて前記再生波形データの主成分スコアを求め、前記再生波形データのホッテリングT2統計量及び残差Q統計量に基づいて前記再生波形データが正常であるか異常であるかを判定する工程と、 を備えたことを特徴とするバッチ式製造プロセスの監視方法。

IPC (1件)：

G05B 23/02

FI (3件)：

G05B23/02 V ,  G05B23/02 301V ,  G05B23/02 302R

Fターム (6件)：

5H223AA01 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223DD05 ,  5H223EE30 ,  5H223FF06