研削研磨保持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奈良武
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139889
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326194
特許番号：特許第4073117号
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワークを保持する保持皿と、該保持皿を回転自在に支承するとともに外周に凸球面を形成した保持具と、該保持具の凸球面を摺動自在に支持する支持具とを有する研削研磨保持装置において、前記保持具の凸球面は半球より少ない球面で形成され、該凸球面に前記支持具の支持部が線接触するように構成し、前記支持具の支持部は、前記支持具の内周下部に形成された円錐面であるとともに、ワークの外周位置における接線とワークの回転軸との交点を基準点として、前記円錐面と前記凸球面との接触稜線とワークの回転軸とのなす角が90度未満となるように構成したことを特徴とする研削研磨保持装置。

IPC (1件)：