特許

J-GLOBAL ID：201103018211727861

ビームサイズの測定方法及び測定装置

発明者： 小島 義克
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 章夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014158
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216076
特許番号：特許第3241017号
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基準体に対して被測定対象のビームを走査し、前記基準体のエッジ部からの反射ビームを検出して当該ビームの信号波形を得る工程と、予め複数の既知のビームサイズのビームを前記基準体に走査し、その反射ビームから得られる複数の比較波形を記憶しておく工程と、前記被測定対象ビームの信号波形と前記複数の比較波形の相互相関度を演算する工程と、得られた複数の相互相関度に基づいて相互相関度の最大となるビームサイズを演算し、当該最大のビームサイズを前記被測定対象ビームのビームサイズと判定する工程とを含むことを特徴とするビームサイズの測定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/04

FI (3件)：

G03F 7/20 504 ,  H01J 37/04 A ,  H01L 21/30 541 N