特許
J-GLOBAL ID：201103018313009432
自動合焦照明装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和泉 雄一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-006744
公開番号（公開出願番号）：特開平2-186312
特許番号：特許第3120176号
出願日： 1989年01月13日
公開日（公表日）： 1990年07月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被検物が載置される基準台と、この基準台の上に載置された被検物の基準台と接しない側の第1面の像を形成する結像光学系と、前記第1面の位置を前記第1面での反射光を用いて検出するための位置検出部と、この被検物の前記被検物の第1面を、基準台と接する側の第2面側から照明するための透過照明光学系とからなり、前記結合光学系の合焦を行うための第1駆動部と、前記透過照明光学系の合焦を行うための第2駆動部と、前記位置検出部からの検出信号から基準台から被検物の第1面までの距離に基づき、前記第1駆動部に前記結像光学系の合焦を行わせるための第1制御信号及び前記第2駆動部に前記透過照明光学系の合焦を行わせるための第2制御信号とを形成するための制御演算部と、からなり、被検物の厚みに応じて、前記第2面側から前記第1面上での適切な透過照明が行える様に構成されていることを特徴とする自動合焦照明装置。
IPC (3件)：
G02B 7/28
, G02B 7/32
, H01L 21/027
G02B 7/11 H
, G02B 7/11 B
, H01L 21/30 502 V
