特許
J-GLOBAL ID:201103018452991918

半導体記憶回路装置の検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 桑井 清一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-163515
公開番号(公開出願番号):特開平3-028780
特許番号:特許第2827290号
出願日: 1989年06月26日
公開日(公表日): 1991年02月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】半導体記憶回路装置に電気的信号を加えて検査をして不良ビットに関するデータを不良ビット記憶部に保持し、不良ビット記憶部のデータを読みだして不良解析できる半導体記憶回路装置の検査装置において、異なる複数の検査規格を同時に設定し、検査判別できる判定器と、判定器の出力である判定データを符号化する符号器と、符号器の出力である符号の各々を記憶する記憶部と、記憶部から読みだした符号を解読する符号解読器とで構成されることを特徴とする半導体記憶回路装置の検査装置。
IPC (2件):
G01R 31/28 ,  G11C 29/00 651
FI (2件):
G01R 31/28 B ,  G11C 29/00 651

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