特許

J-GLOBAL ID：201103018617369095

低熱膨張性セラミックスセッター及びその製造方法

発明者： 山本 光雄 ,  加山 正秋 ,  坂本 晃史 ,  嶋崎 昌俊 ,  吉本 俊裕 ,  小高 康二郎
出願人/特許権者： ニチアス株式会社
代理人 (1件)： 赤塚 賢次 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-211965
特許番号：特許第3320027号
出願日： 1999年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ジルコン1〜50重量%及びジルコン以外の焼結助剤として添加される金属酸化物0.05〜10重量%を含有するβ-スポジュメン質又はβ-ユークリプタイト質からなる低熱膨張性セラミックスセッターであって、該セラミックスセッターは、該セラミックスセッター中に直径0.8〜90μm 、長さ8〜90000μm の空洞が不定方向に点在して形成されていることを特徴とする低熱膨張性セラミックスセッター。

IPC (4件)：

C04B 35/19 ,  C04B 33/13 ,  C04B 35/64 ,  C04B 38/06

FI (4件)：

C04B 33/13 A ,  C04B 38/06 D ,  C04B 35/18 A ,  C04B 35/64 J