特許

J-GLOBAL ID：201103019028201091

センサ及びその製造方法

発明者： 五十嵐 康一
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-127899
公開番号（公開出願番号）：特開2011-252834
出願日： 2010年06月03日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：

【課題】基台が有する凹部の表面を被覆することのできるセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係るセンサの例によるフローセンサは、一方の面にキャビティ25を有する基台20と、基台20の一方の面の上に設けられるセンサ薄膜30と、を備える。センサ薄膜30は、キャビティ25に通ずるスリット36を有している。キャビティ25の断面形状は、例えば舟形凹状であり、キャビティ25の表面Aは、原子層堆積法により形成された膜Xで被覆されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

一方の面に凹部を有する基台と、 前記一方の面上に設けられ、前記凹部に通ずる開口部を有するセンサ薄膜と、を備え、 前記凹部の表面が、原子層堆積法により形成された膜で被覆されている ことを特徴とするセンサ。

IPC (5件)：

G01F 1/692 ,  H01L 21/31 ,  H01L 29/84 ,  B81B 1/00 ,  B81C 1/00

FI (7件)：

G01F1/68 104C ,  G01F1/68 104A ,  G01F1/68 104B ,  H01L21/31 B ,  H01L29/84 Z ,  B81B1/00 ,  B81C1/00

Fターム (48件)：

2F035EA05 ,  2F035EA08 ,  3C081AA17 ,  3C081BA01 ,  3C081BA04 ,  3C081BA22 ,  3C081BA30 ,  3C081BA78 ,  3C081CA26 ,  3C081DA22 ,  3C081EA01 ,  3C081EA03 ,  3C081EA04 ,  4M112AA01 ,  4M112AA10 ,  4M112BA01 ,  4M112CA41 ,  4M112CA42 ,  4M112CA45 ,  4M112CA47 ,  4M112CA51 ,  4M112CA52 ,  4M112CA53 ,  4M112CA54 ,  4M112DA01 ,  4M112DA06 ,  4M112DA08 ,  4M112DA09 ,  4M112DA15 ,  4M112EA01 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112FA07 ,  4M112FA09 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03 ,  5F045AA15 ,  5F045AB31 ,  5F045AB33 ,  5F045AB40 ,  5F045AF03 ,  5F045BB02 ,  5F045BB17