特許
J-GLOBAL ID:201103019870912001
操業分析装置、操業分析方法、コンピュータプログラム及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
亀谷 美明
, 金本 哲男
, 萩原 康司
, 松本 一騎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-004139
公開番号(公開出願番号):特開2011-145764
出願日: 2010年01月12日
公開日(公表日): 2011年07月28日
要約:
【課題】操業因子により品質データのばらつきが変化するプロセスにおいて品質データのばらつきが大きくなる操業因子の値の範囲を効率よく見出すことが可能な操業分析装置を提供する。【解決手段】本発明の操業分析装置は、操業因子データおよび品質データが入力されるデータ入力部と、操業因子空間を分割する分割候補点を複数設定する操業因子空間分割部と、分割候補点で分割された操業因子空間の各局所領域について、品質データを確率変数とする確率密度関数を用いて局所領域におけるばらつき指標を算出する確率密度関数算出部と、各局所領域について算出されたばらつき指標が最大となる局所領域を生成する分割候補点を確定分割点として決定し、操業因子空間を確定分割する最大ばらつきモデル選択部と、確定分割された操業因子空間の局所領域について再分割の要否を判定する再分割対象領域判定部と、解析結果を表示させる解析結果表示部と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
製造プロセスにおいて、品質データのばらつきを解析する操業分析装置であって、
操業因子データおよび品質データが入力されるデータ入力部と、
前記操業因子データからなる操業因子空間をそれぞれが複数の局所領域に分割する分割候補点を複数設定する操業因子空間分割部と、
前記分割候補点で分割された前記操業因子空間の各局所領域について、前記品質データを確率変数とする確率密度関数を用いて、前記局所領域における前記品質データのばらつきの度合いを表すばらつき指標を算出する確率密度関数算出部と、
前記各局所領域について算出された前記ばらつき指標が最大となる局所領域を生成する前記分割候補点を確定分割点として決定し、前記確定分割点により前記操業因子空間を確定分割する最大ばらつきモデル選択部と、
前記最大ばらつきモデル選択部により前記確定分割点にて確定分割された前記操業因子空間の局所領域について、再分割の要否を判定する再分割対象領域判定部と、
前記操業因子空間の局所領域の品質データのばらつきを示す解析結果を表示させる解析結果表示部と、
を備え、
前記再分割対象領域判定部により再分割が必要と判定された局所領域に対して、前記操業因子空間分割部による分割候補点設定と、前記確率密度関数算出部によるばらつき指標算出と、前記最大ばらつきモデル選択部による確定分割と、前記再分割対象領域判定部による再分割の要否判定とを繰り返すことを特徴とする、操業分析装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G05B19/418 Z
, G06F17/60 106
Fターム (2件):
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