特許

J-GLOBAL ID：201103019898184575

感光性樹脂組成物

発明者： 長谷川 真平 ,  徳永 浩信
出願人/特許権者： 三洋化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-071887
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203578
出願日： 2010年03月26日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】アルカリ現像性、露光感度、および解像度に優れ、その硬化物が、低温処理を採用した場合でも、基板との密着性および弾性回復特性に優れているフォトスペーサ用感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 親水性エポキシ樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、エポキシ基および/またはアルコキシ基を2個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物(C)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)、光ラジカル重合開始剤(E)、および酸発生剤(F)を含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を200°C以下でポストベークさせて形成されたフォトスペーサの弾性回復率が50%以上であることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)である。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

分子内に1個以上の(メタ)アクリロイル基と1個以上のカルボキシル基を有する親水性エポキシ樹脂(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、エポキシ基および/またはアルコキシ基を2個以上を分子内に有するカチオン重合性化合物(C)、2個以上の加水分解性アルコキシ基を有するシロキサン化合物(D)、光ラジカル重合開始剤(E)、および酸発生剤(F)を必須成分として含有するアルカリ現像可能なネガ型の感光性樹脂組成物で、光照射による硬化物を200°C以下でポストベークさせて形成されたフォトスペーサの弾性回復率が50%以上であることを特徴とするフォトスペーサ用感光性樹脂組成物(Q)。

IPC (10件)：

G02F 1/133 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/075 ,  C08G 59/17 ,  C08G 77/20 ,  C08F 2/50 ,  C08F 290/00 ,  C08F 299/00

FI (11件)：

G02F1/1339 500 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/027 515 ,  G03F7/075 511 ,  C08G59/17 ,  C08G77/20 ,  C08F2/50 ,  C08F290/00 ,  C08F299/00

Fターム (129件)：

2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096GA09 ,  2H096HA01 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC54 ,  2H125AC58 ,  2H125AC60 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AE03P ,  2H125AE06P ,  2H125AE13P ,  2H125AF18P ,  2H125AF32P ,  2H125AF46P ,  2H125AN08P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125BA02P ,  2H125BA22P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H189DA07 ,  2H189EA06X ,  2H189FA16 ,  2H189GA11 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011QA03 ,  4J011QA04 ,  4J011QA13 ,  4J011QA14 ,  4J011QA17 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QB03 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011QB25 ,  4J011SA55 ,  4J011SA65 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J036AB07 ,  4J036AC08 ,  4J036AD07 ,  4J036AD08 ,  4J036AF06 ,  4J036CA20 ,  4J036CA21 ,  4J036CA22 ,  4J036CA24 ,  4J036CA25 ,  4J036EA03 ,  4J036EA04 ,  4J036EA09 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB081 ,  4J127BB092 ,  4J127BB131 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC062 ,  4J127BC131 ,  4J127BC152 ,  4J127BD201 ,  4J127BD322 ,  4J127BD332 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BE59Y ,  4J127BE592 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BF72Y ,  4J127BF722 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG052 ,  4J127BG12Y ,  4J127BG121 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127BG38Y ,  4J127BG382 ,  4J127CB341 ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CC092 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127DA52 ,  4J127FA00 ,  4J127FA17 ,  4J246AA03 ,  4J246AB01 ,  4J246AB11 ,  4J246BA11X ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246CA230 ,  4J246CA26X ,  4J246CA34X ,  4J246CA340 ,  4J246FA071 ,  4J246FA131 ,  4J246HA15