特許
J-GLOBAL ID:201103019941694841
焼成用セッターおよびこれを用いたセラミックグリーンシートの焼成方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-121712
公開番号(公開出願番号):特開2011-247502
出願日: 2010年05月27日
公開日(公表日): 2011年12月08日
要約:
【課題】 セラミックグリーンシートの反り、およびセラミックグリーンシートの中央部への付着が抑制された焼成用セッターおよびセラミックグリーンシートの焼成方法を提供する。 【解決手段】 板状のセラミック焼結体からなり、下面に凹部1aを有し、下面の外周部が中央部よりも下方に位置している焼成用セッター1である。下面の外周部がセラミックグリーンシート2の上面の外周部に当接して、セラミックグリーンシート2の反りが発生しやすい外周部のみに荷重をかけながらセラミックグリーンシート2を覆うことができるため、セラミックグリーンシート2の反りおよびセラミックグリーンシート2への付着が抑制される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
板状のセラミック焼結体からなり、下面に凹部を有し、前記下面の外周部が中央部よりも下方に位置していることを特徴とする焼成用セッター。
IPC (3件):
F27D 3/12
, C04B 35/64
, H05K 3/46
FI (5件):
F27D3/12 S
, C04B35/64 G
, C04B35/64 J
, H05K3/46 Y
, H05K3/46 H
Fターム (18件):
4K055AA08
, 4K055HA02
, 4K055HA15
, 4K055HA16
, 4K055HA17
, 4K055HA18
, 5E346AA24
, 5E346CC17
, 5E346CC18
, 5E346CC19
, 5E346EE21
, 5E346FF18
, 5E346GG04
, 5E346GG06
, 5E346GG08
, 5E346GG09
, 5E346GG10
, 5E346HH11
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