特許
J-GLOBAL ID：201103020389895606
閃光放射装置および熱処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-188152
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007632
特許番号：特許第4096527号
出願日： 2001年06月21日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 駆動信号発生器から発信される駆動信号により複数の閃光放電ランプを同時に駆動することによって一斉に放射される閃光を被処理物に照射する閃光放射装置において、
複数の閃光放電ランプが共通のトリガ回路に接続されてなる閃光放射ユニットを複数備え、各閃光放射ユニットのトリガ回路が共通の駆動信号発生器に接続されており、
前記駆動信号発生器から駆動信号が発信された時点から複数の各閃光放電ランプの各々についてその消費電力の時間積分値が当該閃光放電ランプの全消費電力の80%に達するまでの時間を有効放射時間τとするとき、すべての閃光放電ランプにおける有効放射時間τのばらつきが0.4ms以下とされていることを特徴とする閃光放射装置。
IPC (2件)：
H01L 21/26 ( 200 6.01)
, H05B 41/32 ( 200 6.01)
H01L 21/26 J
, H05B 41/32 H
