特許
J-GLOBAL ID：201103020763271166
焦点調節機構を備えた走査光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 一男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-126236
公開番号（公開出願番号）：特開平2-304515
特許番号：特許第2706983号
出願日： 1989年05月19日
公開日（公表日）： 1990年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】光束で被照射体を走査して所定作業を行なう走査光学装置において、該被照射体からの光を用いて被照射体上の走査光束の集光状態を調節する自動焦点調節機構を備え、上記所定作業を行なう為の光束の波長と上記自動焦点調節の為の光束の波長とが異なっている事を特徴とする走査光学装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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