光偏向装置の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-316380
公開番号（公開出願番号）：特開平3-177811
特許番号：特許第3198103号
出願日： 1989年12月07日
公開日（公表日）： 1991年08月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】互いに直交する2組以上で、4×m(mは自然数)により定義可能な複数の非平面の反射面からなる多面鏡と、この多面鏡を所定速度で回転させるモータと、からなる光偏向装置において、前記多面鏡を、前記モータの回転軸に対し、第1の組の反射面の接線と直交する方向に移動させることにより前記回転軸と前記多面鏡とが位置決めされたのち、前記第1の組と直交する第2の組の反射面の接線と直交する方向に移動させることにより、走査対象物に結像された光ビームのビーム径の変動が所定範囲内となる前記回転軸と前記多面鏡との間の所定位置に位置決めされることを特徴とする光偏向装置の製造方法。

IPC (1件)：