特許
J-GLOBAL ID:201103021172276882

セラミック板と金属製ケースの気密接合方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 安藤 淳二
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-237866
公開番号(公開出願番号):特開2001-068573
特許番号:特許第3750432号
出願日: 1999年08月25日
公開日(公表日): 2001年03月16日
請求項(抜粋):
【請求項1】金属製のベースをその外縁が外方に延出して延出部を形成するようにセラミック板に重ね、このベースのセラミック板に重ねられた部分に位置するろう付け部をセラミック板に両者間の気密性を確保しながらろう付けする工程と、前記ベースの延出部に、金属製ケース下端の外方に突出するように形成されたフランジ部を重ね、両者の気密性を確保しながら溶接する工程とからなるセラミック板と金属製ケースの気密接合方法において、 前記延出部とろう付け部間には延出部の延出方向に向かってのびる薄板状の変形吸収部が設けられていることを特徴とするセラミック板と金属製ケースの気密接合方法。
IPC (1件):
H01L 23/02 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 23/02 B

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