特許

J-GLOBAL ID：201103021186493053

リブ状物の形成装置

発明者： 鳥海 誠 ,  豊田 誠司 ,  神田 義雄 ,  黒光 祥郎
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309632
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243267
特許番号：特許第3346356号
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板(10)を水平に支持する基台(21)と、前記基台(21)の上方に水平に移動可能に設けられた移動ヘッド(22)と、前記移動ヘッド(22)に取付けられたブレードホルダ(23)と、くし歯(12b)を有するブレード(12)下部を水平にして前記基板(10)に対向しかつ前記移動ヘッド(22)の移動方向に直交して前記ブレードホルダ(23)に保持されたブレード(12)と、前記移動ヘッド(22)を水平に移動させるアクチュエータ(24)とを備え、前記基板(10)の表面に形成されたセラミックペースト膜(11)に前記くし歯(12b)をつき刺して前記ブレード(12)を水平方向に移動することにより前記基板(10)表面にリブ状物(13)を形成するリブ状物の形成装置。

IPC (2件)：

H01J 9/02 ,  G02F 1/1333

FI (2件)：

H01J 9/02 F ,  G02F 1/1333

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ガス放電パネルおよびその製造方法並びにガス放電パネルの製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-089231   出願人：松下電器産業株式会社