特許
J-GLOBAL ID：201103021234627202
直線案内装置及び基板搬送装置並びに基板処理装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 三井田 友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-159108
公開番号（公開出願番号）：特開2011-012789
出願日： 2009年07月03日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】直線案内装置への潤滑剤の供給を容易かつ安定して行うことができる技術を提供すること。【解決手段】Y軸移動基体41により、潤滑剤注入口44と給脂ロッド7の先端部とを嵌合させた状態で当該給脂ロッド7を押圧すると、給脂ロッド7の基端側のピストン71が移動して、シリンダ室61の圧力が給脂ロッド7内の潤滑剤供給路73の圧力よりも高くなる。シリンダ室61内はグリスで充填されているため、第1の逆止弁75aが開いて当該潤滑剤供給路73内にグリスが取り込まれて、潤滑剤注入口44を介してY軸移動基体41に供給される。Y軸移動基体41を退行させて給脂ロッド7の押圧を解除すると、給脂ロッド7がバネ72により復帰しようとし、潤滑剤貯留室64の圧力がシリンダ室61よりも高くなるので、第2の逆止弁62が開いてシリンダ室61内にグリスが補充される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
直線状に伸びる案内軌道に沿って移動基体を駆動機構により摺動移動させる直線案内装置において、
前記移動基体における移動方向の一方側の端面に形成された凹部状の潤滑剤注入口と、
前記案内軌道における端部に固定して設けられたシリンダ室と、
前記移動基体に潤滑剤を供給するための給脂機構と、を備え、
前記給脂機構は、
このシリンダ室内に嵌合した状態で移動基体の移動方向に移動自在に設けられ、その先端部が前記潤滑剤注入口に突出すると共に当該注入口に嵌合するように構成された給脂用のピストンロッドと、
前記ピストンロッド内に設けられ、その一端側が前記先端部に開口すると共に、その他端側がシリンダ室内においてピストンロッドのピストン部分に対して前記先端部とは反対側の領域に第1の逆止弁を介して開口する潤滑剤供給路と、
前記ピストンロッドに対して前記移動基体側に付勢力を作用させるための付勢手段と、
前記シリンダ室に潤滑剤を補充するために、当該シリンダ室内においてピストンロッドのピストン部分に対して前記先端部とは反対側の領域に第2の逆止弁を介して接続された潤滑剤貯留室と、
前記移動基体により、前記潤滑剤注入口とピストンロッドの先端部とを嵌合させた状態で前記付勢手段の付勢力に抗して当該ピストンロッドを押圧し、次いで当該移動基体を退行させてピストンロッドの押圧を解除するように前記駆動機構を制御する手段と、を備え、
前記第1の逆止弁は、潤滑剤供給路よりもシリンダ室内の圧力が高くなったときに開き、前記第2の逆止弁はシリンダ室内よりも潤滑剤貯留室の圧力が高くなったときに開き、
前記ピストンロッドが移動基体に押圧されたときにシリンダ室内の潤滑剤が前記潤滑剤注入口に供給され、当該ピストンロッドが付勢手段により復帰するときに潤滑剤貯留室からシリンダ室に潤滑剤が補充されることを特徴とする直線案内装置。
IPC (3件)：
F16N 11/04
, F16C 29/02
, H01L 21/677
F16N11/04
, F16C29/02
, H01L21/68 A
3J104AA44
, 3J104AA64
, 3J104AA69
, 3J104AA74
, 3J104AA79
, 3J104DA05
, 3J104EA10
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA02
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031GA58
, 5F031KA06
, 5F031KA07
, 5F031KA08
, 5F031LA13
, 5F031MA02
, 5F031MA03
, 5F031MA13
, 5F031MA26
, 5F031PA06
