特許
J-GLOBAL ID：201103021416650994
蒸着マスク及びその製造方法並びに自発光表示装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小林 保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-199397
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054290
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】表示装置を高精細化することが可能な蒸着マスク及び自発光表示装置の製造方法の提供。【解決手段】マスク薄膜MPの一面側からのエッチングで形成された第1エッチング領域と、他面側からのエッチングで形成された第2エッチング領域との形成により、当該マスク薄膜の一面側から他面側に貫通する開孔部HL1,HL2が形成され、行方向及び列方向にマトリクス状に前記開孔部が配列されるマスク薄膜を備える蒸着マスクであって、前記開孔部は前記行方向及び/又は列方向に異なる開孔幅を有する第1開孔部HL1と第2開孔部HL2とから構成された蒸着マスク。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
マスク薄膜の一面側からのエッチングで形成された第1エッチング領域と、他面側からのエッチングで形成された第2エッチング領域との形成により、当該マスク薄膜の一面側から他面側に貫通する開孔部が形成され、行方向及び列方向にマトリクス状に前記開孔部が配列されるマスク薄膜を備える蒸着マスクであって、
前記開孔部は前記行方向及び/又は列方向に異なる開孔幅を有する第1開孔部と第2開孔部とから構成され、
前記第1開孔部に形成される前記第1エッチング領域の深さをDa、前記第2開孔部に形成される前記1エッチング領域の深さをDb、
前記第1エッチング領域の底部と前記第2エッチング領域の底部とが一致する突出部と、前記第2エッチング領域の周縁部とを結ぶ直線のテーパ角の内、第1開孔部におけるテーパ角をTa、第2開孔部におけるテーパ角をTb、
前記第1開孔部と前記第2開孔部とを分離する遮蔽部の内、前記第1及び第2開孔部の短軸方向の幅をW、前記遮蔽部の中心位置から前記第1開孔部における突出部までの前記短軸方向の幅をCwとした場合、
0.8≦Db/Da≦1.21、及び0.9≦(W÷2)÷Cw≦1.10、並びに0.8≦Tb÷Ta≦1.2
の内の少なくとも2つを満たすことを特徴とする蒸着マスク。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, C23C 14/24
H05B33/10
, H05B33/14 A
, C23C14/24 G
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC45
, 3K107GG31
, 3K107GG33
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB18
, 4K029HA01
