特許
J-GLOBAL ID:201103021641745090
感光性組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
正林 真之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-033412
公開番号(公開出願番号):特開2011-170075
出願日: 2010年02月18日
公開日(公表日): 2011年09月01日
要約:
【課題】現像後のパターンがT-Top形状となることを抑制し、かつ、ポストベーク後のパターンにシワを生じたり、フローを生じたりすることを抑制できる感光性組成物を提供すること。【解決手段】光重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)、及びアクリル樹脂微粒子が分散されたアクリル樹脂微粒子分散液(C)を含む感光性組成物を使用する。このような感光性組成物では、アクリル樹脂微粒子のフィラー効果と光透過効果が得られると考えられ、T-Top形状抑制性、パターン形状及び表面シワ抑制についてバランス良く適性を備える。【選択図】なし
請求項(抜粋):
光重合性化合物(A)、光重合開始剤(B)、及びアクリル樹脂微粒子が分散されたアクリル樹脂微粒子分散液(C)を含む感光性組成物。
IPC (4件):
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G02B 5/20
, G02B 5/22
FI (4件):
G03F7/033
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
, G02B5/22
Fターム (37件):
2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BA48
, 2H048BB01
, 2H048BB02
, 2H048BB41
, 2H048CA04
, 2H048CA19
, 2H125AC03
, 2H125AC34
, 2H125AC36
, 2H125AC45
, 2H125AC54
, 2H125AD06
, 2H125AE13P
, 2H125AM08P
, 2H125AM13P
, 2H125AM22P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AN34P
, 2H125AN39P
, 2H125AN42P
, 2H125AN51P
, 2H125AN94P
, 2H125AP03P
, 2H125AP11P
, 2H125BA02P
, 2H125BA16P
, 2H125BA20P
, 2H125CA17
, 2H125CA18
, 2H125CB06
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD29P
, 2H125CD38
引用特許:
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