特許

J-GLOBAL ID：201103021706728261

クロロシラン類中のボロン化合物の分離方法及びクロロシラン類蒸発用組成物

発明者： 宮尾 秀一 ,  渡辺 網雄
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (2件)： 小島 隆司 ,  西川 裕子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170817
公開番号（公開出願番号）：特開2001-002407
特許番号：特許第3734009号
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ボロン化合物を含有するクロロシラン類にNaF、KF、CaF2、MgF2、NH4F、BaF2、フッ化トリフェニルスズ又はフッ化トリブチルスズであるフッ素元素を含む塩を作用させて、上記ボロン化合物を上記フッ素元素を含む塩に吸着させることを特徴とするクロロシラン類中のボロン化合物の分離方法。

IPC (6件)：

C01B 33/107 ( 200 6.01) ,  B01D 1/00 ( 200 6.01) ,  B01D 3/34 ( 200 6.01) ,  B01J 20/02 ( 200 6.01) ,  C01B 35/06 ( 200 6.01) ,  C30B 29/06 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C01B 33/107 B ,  B01D 1/00 Z ,  B01D 3/34 ,  B01J 20/02 A ,  C01B 35/06 ,  C30B 29/06 504 B

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-300206
  
• 特開昭61-197415
  

審査官引用 (4件)

• 特開平4-300206
  
• 特開平4-300206
  
• 特開昭61-197415
  
• 特開昭61-197415