特許

J-GLOBAL ID：201103021799952395

基板処理装置及び基板処理方法

発明者： 山岸 紀睦
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 特許業務法人アイ・ピー・エス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-207633
公開番号（公開出願番号）：特開2011-060924
出願日： 2009年09月09日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：

【課題】基板保持具(ボート)の形状にかかわらず、ウエハを検知できる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。【解決手段】基板12を保持可能に構成される基板支持部と、前記基板支持部に保持された基板12の周縁の少なくとも一部に設けられるリングプレート70を有し、前記基板支持部に保持された基板12と前記リングプレート70との間に所定の間隔が設けられるように形成される基板保持具26の前記基板支持部に基板12を搬送する基板移載装置と、基板12の位置及び前記リングプレート70の位置を検出可能に構成される検出装置と、前記基板移載装置を制御する制御装置とを有し、基板12の位置及びリングプレート70の位置の少なくとも一方が、正常位置範囲データ外にあると判断した場合には異常と判断する。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

基板を保持可能に構成される基板支持部と、前記基板支持部に保持された基板の周縁の少なくとも一部に設けられるプレートを有し、前記基板支持部に保持された基板と前記プレートとの間に所定の間隔が設けられるように形成される基板保持具の前記基板支持部に基板を搬送する基板移載装置と、 前記基板支持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置を検出可能に構成される検出装置と、 前記基板移載装置を制御する制御装置と、を有し、前記制御装置は、前記基板支持部に保持された基板の第一正常位置範囲データ及び前記プレートの第二正常位置範囲データを記憶する記憶装置と、前記検出装置が検出した前記基板支持部に保持された基板の位置及び前記プレートの位置と前記記憶装置に記憶された前記第一正常位置範囲データ及び前記第二正常位置範囲データとを比較し、前記基板の位置及び前記プレートの位置の少なくとも一方が前記第一正常位置範囲データ外若しくは及び前記第二正常位置範囲データ外にあると判断した場合に異常と判断する判断装置と、 を有する基板処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/677

FI (1件)：

H01L21/68 A

Fターム (20件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA42 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA23 ,  5F031JA33 ,  5F031MA28 ,  5F031PA20