特許

J-GLOBAL ID：201103021884380040

プラズマエッチング用電極板

発明者： 箕浦 誠司 ,  堀尾 泰臣
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 廣江 武典
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-115668
公開番号（公開出願番号）：特開平2-294030
特許番号：特許第2775290号
出願日： 1989年05月08日
公開日（公表日）： 1990年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】高純度の炭素繊維強化複合材料からなるプラズマエッチング用電極板。

IPC (2件)：

H01L 21/3065 ,  C23F 4/00

FI (2件)：

H01L 21/302 C ,  C23F 4/00 A