特許
J-GLOBAL ID:201103021938133000

ビーム分岐光学系を用いたレーザドップラ振動計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 遠藤 善二郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-269083
公開番号(公開出願番号):特開平3-131764
特許番号:特許第2691781号
出願日: 1989年10月18日
公開日(公表日): 1991年06月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】(A)光学系装置部及び前記光学系装置部の物体光出入射端と偏波面保存光ファイバを介して接続され、物体光を被測定体に照射し、被測定体での反射光を受光するプローブ部から構成されたビーム分岐光学系を用いたレーザドップラ振動計であって、(B)光学系装置部は、(i)レーザビームからの直接の参照光と偏波面保存光ファイバに対し出入する物体光とが分岐・合流する夫々の光路である2光路を成す光学系と、(ii)いずれか一方が光学変調された物体光と参照光とが合流されて生じるビートを検出し、被測定体の移動速度及び変位量、又は被測定体の移動速度若しくは変位量のいずれか一方を演算する信号処理部とから構成され、(C)前記光学系は、(i)レーザ光源と、(ii)ビームスプリッタ、又はビームスプリッタ・偏光ビームスプリッタの組合せと、(iii)参照光の光路に介在し、分岐点・合流点間の参照光の通過光路長が分岐点・被測定体反射面間及び被測定体反射面・合流点間の物体光の通過光路長と同長にするような調整長さを具備する光路長調整用偏波面保存光ファイバとから構成され、(D)前記2光路中の1光路に光学変調手段が設けられていることを特徴とするビーム分岐光学系を用いたレーザドップラ振動計。
IPC (6件):
G01P 3/36 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G01H 9/00 ,  G01S 7/48 ,  G01S 17/50
FI (6件):
G01P 3/36 E ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 G ,  G01H 9/00 C ,  G01S 7/48 ,  G01S 17/50
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭57-082723

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