特許
J-GLOBAL ID：201103021967030962
ガス流通方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-050854
公開番号（公開出願番号）：特開2011-185353
出願日： 2010年03月08日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】シンプルな機構のヒータ設置部により配管内を効率良く加熱しつつ、ガスを流通させることができるガス流通方法を提供することを目的とする。【解決手段】加熱手段を備えた配管101bを処理装置106又は107に接続し、加熱手段を備えた配管101bを通して処理ガスを流通させるガス流通方法であって、加熱手段は、配管101b内にガス流路に沿って置かれた棒状の発熱体を有し、配管101b内を減圧した状態で処理ガスを加熱しつつ流通させる。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
加熱手段を備えた配管を処理装置に接続し、該加熱手段を備えた配管を通して処理ガスを流通させるガス流通方法であって、
前記加熱手段は、前記配管内にガス流路に沿って置かれた棒状の発熱体を有し、前記配管内を減圧した状態で前記処理ガスを加熱しつつ流通させることを特徴とするガス流通方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
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