特許

J-GLOBAL ID：201103022232567985

温度測定装置および照明装置

発明者： 澤村 昭雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-200589
公開番号（公開出願番号）：特開2011-053022
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】光学部材(160)の温度をより正確に算出する。【解決手段】照明装置(100)における光源部(140)から発光された照明光を透過させる光学部材(160)の温度を測定する温度測定装置(300)であって、光学部材における既知の測定点から放射される熱放射線を受け、熱放射線に基づいた計測温度を検出する放射線検出部(320)と、照明装置内部における環境温度を検出する環境温度検出部(330)と、光学部材の熱放射線の放射率値を格納する放射率値格納部(340)と、環境温度に対応付けて、光学部材の複数の領域における放射率値の分布定数を格納する温度分布格納部(340)と、放射線検出部で検出された計測温度、放射率値、および、環境温度に応じた分布定数に基づいて、光学部材において注目している領域の温度を出力する温度出力部(350)とを備える温度測定装置が提供される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

照明装置における光源部から発光された照明光を透過させる光学部材の温度を測定する温度測定装置であって、 前記光学部材における既知の測定点から放射される熱放射線を受け、熱放射線に基づいた計測温度を検出する放射線検出部と、 前記照明装置内部における環境温度を検出する環境温度検出部と、 前記光学部材の熱放射線の放射率値を格納する放射率値格納部と、 前記環境温度に対応付けて、前記光学部材の複数の領域における前記放射率値の分布定数を格納する温度分布格納部と、 前記放射線検出部で検出された前記計測温度、前記放射率値、および、前記環境温度に応じた前記分布定数に基づいて、前記光学部材において注目している領域の温度を出力する温度出力部と を備える温度測定装置。

IPC (3件)：

G01J 5/00 ,  G03B 15/05 ,  G03B 15/02

FI (4件)：

G01J5/00 101Z ,  G03B15/05 ,  G03B15/02 H ,  G03B15/02 S

Fターム (10件)：

2G066AB10 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BB09 ,  2G066BB11 ,  2G066CA15 ,  2H053CA02 ,  2H053CA14 ,  2H053CA18 ,  2H053DA00