特許

J-GLOBAL ID：201103022430283119

光インプリント用樹脂組成物、パターン形成方法、及びエッチングマスク

発明者： 佐塚 拓郎 ,  高谷 佳輝 ,  池田 明代
出願人/特許権者： 丸善石油化学株式会社
代理人 (3件)： 泉名 謙治 ,  小川 利春 ,  山本 量三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-020620
公開番号（公開出願番号）：特開2011-157482
出願日： 2010年02月01日
公開日（公表日）： 2011年08月18日
要約：

【課題】光インプリント用樹脂組成物を提供する。【解決手段】硬化性モノマーが下記の式(1)式(2)含み、かつ、式(1)及び式(2)で表される化合物の重量比率が20/80〜95/5である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

硬化性モノマー(A)、及び光重合開始剤(B)を含み、前記硬化性モノマー(A)が下記の式(1) で表される脂環式ビニルエーテル化合物及び式(2)で表される脂環式ビニルエーテル化合物を含み、かつ、式(1) 及び式(2) で表される化合物の重量比率((式(1) で表される化合物の重量)/(式(2) で表される化合物の重量))が20/80〜95/5であることを特徴とする光インプリント用樹脂組成物。

IPC (2件)：

C08F 216/16 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

C08F216/16 ,  H01L21/30 502D

Fターム (15件)：

4J100AE09P ,  4J100AE09Q ,  4J100AE75P ,  4J100AE75Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12P ,  4J100BC43P ,  4J100CA04 ,  4J100FA03 ,  4J100JA38 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28