特許

J-GLOBAL ID：201103022498688052

アルカリ現像機の洗浄方法

発明者： 木内 丈司
出願人/特許権者： 日本弗素工業株式会社
代理人 (1件)： 井澤 洵
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056094
特許番号：特許第3069085号
出願日： 1999年03月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 アルカリ現像機の現像液の流路や液槽等に付着している高分子重合結合剤、重合性物質、添加剤等の成分を含むスケールを洗浄するための方法であって、多価カルボン酸類、リンゴ酸類、EDTAの内から選ばれた1又は2以上の成分を含む水溶液を洗浄液として使用し、かつ同水溶液を交流磁界にさらしたのち現像液の流路や液槽へ流すことによって不溶解性物質を分解することを特徴とするアルカリ現像機の洗浄方法。

IPC (6件)：

C02F 5/00 610 ,  C02F 5/00 620 ,  C02F 1/48 ,  C02F 5/12 ,  C23F 1/04 ,  H05K 3/06

FI (7件)：

C02F 5/00 610 A ,  C02F 5/00 610 H ,  C02F 5/00 620 Z ,  C02F 1/48 A ,  C02F 5/12 ,  C23F 1/04 ,  H05K 3/06 G