特許
J-GLOBAL ID：201103022527325576
基板処理装置および基板処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮本 治彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145523
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332093
特許番号：特許第4097358号
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板を処理する基板処理部と、
前記基板を収納する容器を複数収容する容器収容部と、
前記容器収容部に前記容器を搬入する際、前記容器収容部から前記容器を搬出する際、または前記容器収容部に前記容器を搬入する際および前記容器収容部から前記容器を搬出する際に前記容器を搭載して前記容器収容部に挿入する挿入部を有する容器搬送機とを備え、
前記容器収容部が上下方向に複数段の棚を備え、
前記複数段の棚のうちのある段の一つの棚に前記容器を前記挿入部に搭載して搬入する際、前記ある段の一つの棚から前記容器を前記挿入部に搭載して搬出する際、または前記ある段の一つの棚から前記容器を前記挿入部に搭載して搬入する際および前記ある段の一つの棚に前記容器を前記挿入部に搭載して搬出する際に前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚に載置される互いに隣接する2つの容器間に前記容器搬送機の前記挿入部を位置させることができるように、前記ある段の一つの棚への前記容器の載置位置および前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚への前記容器の載置位置を定め、
前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間の垂直方向におけるピッチを、前記容器の垂直方向における距離と、前記挿入部の垂直方向における距離と、前記ある段の一つの棚と前記ある段の一つの棚に隣接する段の棚との間で前記挿入部が昇降動する際の垂直方向における移動距離と、を加えた距離より小さくしたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
