特許
J-GLOBAL ID：201103022595849770

走査露光装置および該走査露光装置によるデバイス製造方法

発明者：
吉村 圭司

吉村 圭司 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151798
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332479
特許番号：特許第3919424号
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】パルス光源からのコヒーレンスを有する照明光によりマスクを照明する照明光学系と、前記照明光学系により照明されたマスクのパターンを感光基板に投影する投影光学系と、前記照明光を前記マスクに対し周期的に移動させるべく前記照明光学系内の光学素子を周期的に駆動する駆動手段とを有する走査露光装置において、 前記感光基板上の照明領域を前記感光基板上の1点が通過するのに要する通過時間が前記駆動手段による前記光学素子の動作周期の整数倍となり、前記パルス光源の発振周期の前記動作周期に対する比が非整数となり、かつ前記動作周期は、前記発振周期を、前記比の整数倍が整数および整数に近い数のいずれかになるような当該整数倍した値となるように、前記感光基板の走査速度、前記動作周期および前記発振周期が設定される ことを特徴とする走査露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G03F 7/22 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/22 H
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM