特許

J-GLOBAL ID：201103023180967528

光検出器

発明者： 関谷 洋之 ,  窪 秀利
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学 ,  国立大学法人京都大学
代理人 (2件)： 岡田 賢治 ,  今下 勝博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-139451
公開番号（公開出願番号）：特開2010-286316
出願日： 2009年06月10日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：

【課題】紫外線、赤外線、あるいは可視光等の光を高感度で検出することができ、位置分解能及び計数率特性に優れた光検出器を提供することを目的とする。【解決手段】光検出器101は、入射する光を電子に変換して放出する光電変換部2と、光電変換部2に相対する位置に配置され、チャンバ7内のガスで電子を増幅して検出するピクセル型電極6と、光電変換部2の周囲に接触し、ピクセル型電極6に対して負電位となるマイナス電極9と、を備える。本光検出器は、光電変換部からピクセル型電極へ向けて広がる電場を形成しており、光電変換部が発生させた電子の位置情報を保ったまま相似拡張してピクセル型電極へ到達させることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

チャンバに装着する光検出器であって、 入射する光を電子に変換して放出する光電変換部と、 前記光電変換部に相対する位置に配置され、前記チャンバ内のガスで電子を増幅して検出するピクセル型電極と、 前記光電変換部の周囲に接触し、前記ピクセル型電極に対して負電位となるマイナス電極と、 を備えており、 電場が、前記光電変換部から前記ピクセル型電極へ向けて広がっていることを特徴とする光検出器。

IPC (3件)：

G01T 1/18 ,  G01J 1/02 ,  H01J 43/24

FI (3件)：

G01T1/18 D ,  G01J1/02 D ,  H01J43/24

Fターム (19件)：

2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065AB04 ,  2G065AB05 ,  2G065BA18 ,  2G065BA34 ,  2G065CA30 ,  2G065DA10 ,  2G065DA18 ,  2G088FF10 ,  2G088GG03 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ10 ,  2G088JJ31 ,  2G088KK35 ,  2G088LL15 ,  5C038BB06