特許

J-GLOBAL ID：201103023264882439

半導体装置及びその作製方法

発明者： 山崎 舜平 ,  坂田 淳一郎 ,  大原 宏樹
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-268321
公開番号（公開出願番号）：特開2011-139051
出願日： 2010年12月01日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：

【課題】量産性の高い新たな半導体材料を用いた大電力向けの半導体装置を提供することを目的の一とする。【解決手段】酸化物半導体膜中の水分または水素などの不純物を低減するために、酸化物半導体膜を形成した後、酸化物半導体膜が露出した状態で第1の加熱処理を行う。次いで、酸化物半導体膜中の水分、または水素などの不純物をさらに低減するために、イオン注入法またはイオンドーピング法などを用いて、酸化物半導体膜に酸素を添加した後、再び、酸化物半導体膜が露出した状態で第2の加熱処理を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化物半導体膜に第1の加熱処理を施し、 前記第1の加熱処理が施された酸化物半導体膜に酸素を添加し、 前記酸素が添加された前記酸化物半導体膜に第2の加熱処理を施す半導体装置の作製方法。

IPC (5件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/20 ,  G02F 1/136 ,  H01L 51/50

FI (8件)：

H01L29/78 627F ,  H01L29/78 627Z ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/78 626A ,  H01L21/20 ,  G02F1/1368 ,  H05B33/14 A ,  H01L29/78 618B

Fターム (145件)：

2H092GA29 ,  2H092GA50 ,  2H092GA60 ,  2H092JA26 ,  2H092JA33 ,  2H092JA39 ,  2H092JA46 ,  2H092JB57 ,  2H092JB58 ,  2H092JB63 ,  2H092KA08 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA19 ,  2H092MA27 ,  2H092MA29 ,  2H092NA22 ,  2H092QA07 ,  2H092QA11 ,  2H092QA15 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC14 ,  3K107CC21 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107EE04 ,  5F110AA05 ,  5F110AA06 ,  5F110AA08 ,  5F110AA13 ,  5F110AA14 ,  5F110BB02 ,  5F110CC07 ,  5F110CC09 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD07 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE22 ,  5F110EE23 ,  5F110EE30 ,  5F110EE38 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF35 ,  5F110GG01 ,  5F110GG22 ,  5F110GG28 ,  5F110GG35 ,  5F110GG43 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK42 ,  5F110HL07 ,  5F110HM03 ,  5F110HM04 ,  5F110HM12 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN12 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN40 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110PP02 ,  5F110PP10 ,  5F110PP13 ,  5F110PP29 ,  5F110PP32 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ04 ,  5F110QQ05 ,  5F110QQ09 ,  5F152BB02 ,  5F152BB03 ,  5F152CC02 ,  5F152CC03 ,  5F152CC04 ,  5F152CC05 ,  5F152CC06 ,  5F152CD12 ,  5F152CD13 ,  5F152CD14 ,  5F152CD15 ,  5F152CD16 ,  5F152CD17 ,  5F152CD24 ,  5F152CE01 ,  5F152CE16 ,  5F152CE28 ,  5F152CE33 ,  5F152CE36 ,  5F152CE37 ,  5F152CE43 ,  5F152CE45 ,  5F152CG10 ,  5F152CG13 ,  5F152EE13 ,  5F152EE16 ,  5F152FF11 ,  5F152FF14 ,  5F152FF15 ,  5F152FF16 ,  5F152FF17 ,  5F152FF21