特許
J-GLOBAL ID:201103023271818037
真空ポンプ用ロータ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
渡邊 勇
, 堀田 信太郎
, 大畑 進
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-541336
特許番号:特許第3836160号
出願日: 1999年02月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】ローブの輪郭に沿った形状のロータ殻と、
該ロータ殻の両端開口部を閉止する側板と、該側板に取り付けられた回転軸とを有する中空ロータであって、
該ロータ殻及び側板によって気密に区画形成された中空部の内部が真空雰囲気である真空ポンプ用ロータ。
IPC (2件):
F04C 25/02 ( 200 6.01)
, F04C 18/18 ( 200 6.01)
FI (2件):
F04C 25/02 K
, F04C 18/18 B
引用特許:
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