セリウム系研摩材の製造方法及びセリウム系研摩材

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：奥山雄毅
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122726
公開番号（公開出願番号）：特開2002-317173
特許番号：特許第4394848号
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セリウム系研摩材原料から粉砕工程によって粉砕品を得、この粉砕品をフッ化処理によってフッ化処理品を得、さらにこのフッ化処理品を焙焼することによって製造されるセリウム系研摩材の製造方法において、フッ化処理工程に供用される研摩材原料の粉砕品中に含まれる10μm以上の粗粒子の量が、固形分に対して5000ppm以下であり、さらに、フッ化水素の濃度が1wt%以上で30wt%未満のフッ化水素酸によるフッ化処理を行うことで、フッ化処理品中に含まれる10μm以上の粗粒子の量が、固形分に対して500ppm以下にすることを特徴とするセリウム系研摩材の製造方法。

IPC (2件)：