特許
J-GLOBAL ID：201103024017631160
レチクルケ-ス搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 喜平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-074011
特許番号：特許第3005584号
出願日： 1999年03月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レチクルを保管するレチクルストッカーと露光装置が納められている露光チャンバとを連結し、遮光壁で覆われているトンネル配膳路と、このトンネル配膳路内を走行してレチクルが納められたレチクルケースを前記露光チャンバと前記レチクルストッカーとの間で配膳する配膳手段と、この配膳手段と前記露光チャンバ内のレチクルを保管するレチクルライブラリとの間で、前記配膳手段により配膳された前記レチクルケースを前記レチクルライブラリに搬送,装着し、前記レチクルライブラリから前記レチクルケースを脱着,搬送して前記配膳手段に引き渡す搬送手段とを備えることを特徴とするレチクルケース搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/30 503 E
