ターボ分子ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡邉勇 , 堀田信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-557081
特許番号：特許第4086470号
出願日： 1999年06月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ロータ部の回転翼をステータ部の固定翼と交互に配置した翼排気部を収容したケーシングと、前記回転翼を支持する電磁石を備えた磁気軸受とを備え、前記翼排気部は、軸方向翼排気部と、該軸方向翼排気部の下流側に配置され前記回転翼又は固定翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部とを備え、前記軸方向翼排気部と前記径方向翼排気部との間に、ねじ溝により前記ポンプの軸方向に気体を排気するねじ溝排気部が設けられ、前記径方向翼排気部の1段目の固定翼の前記ねじ溝排気部の回転側の端面に対向する面には、該端面との間で気体を径方向内方に排気する凹凸面が形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (2件)：