薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 伊藤正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-152846
公開番号（公開出願番号）：特開2011-047035
出願日： 2010年07月05日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：

【課題】薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。【解決手段】大型基板の量産工程に容易に適用でき、製造収率が向上した薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法。蒸着源110から放出された蒸着物質115を、蒸着源ノズル部120及びパターニングスリットシート150を通過させて基板400に所望のパターンで蒸着させる。遮断板アセンブリ130とパターニングスリットシート150との温度が十分に低ければ、所望しない方向に放射される蒸着物質115は、いずれも遮断板アセンブリ130面に吸着されて高真空を維持できるため、蒸着物質間の衝突が発生せずに、蒸着物質の直進性を確保することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板上に薄膜を形成するための薄膜蒸着装置において、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数の蒸着源ノズルが形成される蒸着源ノズル部と、前記蒸着源と対向して配され、前記第1方向に沿って複数のパターニングスリットが形成されるパターニングスリットシートと、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間に前記第1方向に沿って配されて、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリットシートとの間の空間を複数の蒸着空間に区切る複数の遮断板を備える遮断板アセンブリと、を備え、前記各蒸着空間に対応する前記パターニングスリットの長さが異なるように形成され、前記薄膜蒸着装置は、前記基板と所定程度離隔するように形成され、前記薄膜蒸着装置と前記基板とは、いずれか一側が他側に対して相対的に移動自在に形成されることを特徴とする薄膜蒸着装置。

IPC (3件)：

C23C 14/04 , H01L 51/50 , H05B 33/10

FI (3件)：

C23C14/04 A , H05B33/14 A , H05B33/10

Fターム (15件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC33 , 3K107CC42 , 3K107CC45 , 3K107GG04 , 3K107GG33 , 3K107GG34 , 4K029AA24 , 4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029DA12 , 4K029DB12 , 4K029HA03 , 4K029KA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

蒸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-095992 出願人：三洋電機株式会社

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