エキシマレーザ装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-057853
公開番号（公開出願番号）：特開平2-238685
出願日： 1989年03月13日
公開日（公表日）： 1990年09月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】波長選択素子1により、発振スペクトル幅を挟帯域化して発振させ、かつエキシマレーザ発振器より発生する光を吸収物質による吸収線用光源として利用するエキシマレーザ装置において、前記吸収用光源がレーザ光の光軸からはずれたASEを利用したことを特徴とするエキシマレーザ装置。

IPC (3件)：