発電デバイス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-245540
公開番号（公開出願番号）：特開2011-091319
出願日： 2009年10月26日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】発電効率の向上を図れるとともに信頼性の向上を図れる発電デバイスを提供する。【解決手段】素子形成基板20aを用いて形成されてフレーム部(支持部)21およびカンチレバー部22を有するカンチレバー形成基板20と、カンチレバー部22の振動に応じて交流電圧を発生する圧電変換部(発電部)24とを備え、圧電変換部24の下部電極24a、上部電極24cが、下部電極用パッド27a、上部電極用パッド27cと電気的に接続されている。上部電極24cと圧電層24bとの接するエリアを規定し且つ上部電極24cと下部電極24aとの短絡を防止する絶縁層25がカンチレバー形成基板20の一表面側においてフレーム部21上まで延設され、上部電極24cと当該上部電極24cに電気的に接続される上部電極用パッド27cとの間の接続配線26cの全ての部位が絶縁層25上に形成され、上部電極用パッド27cが絶縁層25上に形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

素子形成基板を用いて形成されて支持部および支持部に揺動自在に支持されたカンチレバー部を有するカンチレバー形成基板と、カンチレバー部に形成されカンチレバー部の振動に応じて交流電圧を発生する圧電変換部からなる発電部とを備え、発電部が、カンチレバー形成基板の一表面側においてカンチレバー部に重なる部位に形成された下部電極と、下部電極におけるカンチレバー部側とは反対側に形成された圧電層と、圧電層における下部電極側とは反対側に形成された上部電極とを有し、下部電極および上部電極それぞれが、カンチレバー形成基板の前記一表面側において支持部に重なる部位に形成された各別のパッドと電気的に接続されてなる発電デバイスであって、上部電極と圧電層との接するエリアを規定し且つ上部電極と下部電極との短絡を防止する絶縁層がカンチレバー形成基板の前記一表面側において支持部上まで延設され、上部電極と当該上部電極に電気的に接続されるパッドである上部電極用パッドとの間の接続配線の全ての部位が絶縁層上に形成され、上部電極用パッドが絶縁層上に形成されてなることを特徴とする発電デバイス。

IPC (6件)：

H01L 41/113 , H01L 41/18 , H01L 41/22 , H01L 41/24 , B81B 3/00 , H02N 2/00

FI (6件)：

H01L41/08 G , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z , H01L41/22 A , B81B3/00 , H02N2/00 A

Fターム (10件)：

3C081AA01 , 3C081AA13 , 3C081BA22 , 3C081BA43 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081DA02 , 3C081DA29 , 3C081DA30 , 3C081EA21

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